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RS-100全自動防塵半導(dǎo)體行業(yè)點膠系統(tǒng)
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RS-100全自動防塵半導(dǎo)體行業(yè)點膠系統(tǒng)

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產(chǎn)品概覽

核心優(yōu)勢


良率提升:工作機位作業(yè)前后檢測,末站專業(yè)檢測,實現(xiàn)多重防呆。
全自動化:同時配備自動上料機、自動下料機,匹配信息化管理要求與無人化管理趨勢。
防止整線宕機:作業(yè)軌/傳輸軌分離,單臺停機不影響整線運行。
滿足信息化管理需求:實時MES系統(tǒng)對接,上傳生產(chǎn)狀態(tài)信息,系統(tǒng)異常狀態(tài)報警。支持SECS/GEM半導(dǎo)體通訊協(xié)議。

嚴(yán)格溫控:在晶圓流轉(zhuǎn)與作業(yè)全過程中對溫度進行精細(xì)管控并自動校正,滿足CUF工藝需求的同時,保障產(chǎn)品生產(chǎn)。



滿足嚴(yán)苛的工程條件要求
百級防塵設(shè)計?專用于環(huán)保車間(通過建模與仿真,配置防塵部件及線纜,氣體過濾等);
ESD防靜電設(shè)計(符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標(biāo)準(zhǔn)) ;
防震動(礦物質(zhì)框架,具有良好吸震性,有效減少高速運動帶來的沖擊)。



系統(tǒng)組成


規(guī)格參數(shù)

RS-100

基本參數(shù)

外形尺寸 mm

960×1240×1467(W*D*H)

重量 kg

標(biāo)準(zhǔn)機:900

用電需求

電壓220V,50HZ,電流16A

氣壓需求MPa

最小氣壓0.6

設(shè)備功耗W

≦2500

有效行程 mm

X550*Y510

軌道高度mm

900±30

軌道承重(含載具)Kg

4.5

最大基板厚度 mm

5.5

軸數(shù)

X、Y、Z

驅(qū)動方式

X/Y/Z軸采用伺服馬達+精密滾珠絲桿

定位精度

±15um(X\Y);±15um(Z)

重復(fù)精度

±10um(X\Y);±10um(Z)

最大速度mm/s

1000(X/Y);300(Z)

最大加速度

1g(X/Y);0.3g(Z)

視覺定位系統(tǒng)

工業(yè)CCD

計算機及軟件

Windows 系統(tǒng)開發(fā)下軟件

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